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平晶使用方法
日期:2025-06-06 15:55
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摘要:
平晶使用方法
平面平晶具體規(guī)格有Ф30mm;Ф45mm;Ф60mm;Ф80mm;Ф100mm;Ф150mm;Ф200mm;Ф250mm;Ф300mm共計九款。
平面平晶主要和NG-C2高精度鈉光燈箱配套使用,用于以干涉法檢驗塊規(guī)、量規(guī)、零件密封面、測量儀器以及測量工具量面的研合性和平面度,適用于光學(xué)加工廠、廠礦企業(yè)計量室、精密加工車間、閥門密封面現(xiàn)場檢測使用,也適用于高等院校、科學(xué)研究等單位做平面度等檢測。
測量時,把平晶放在被測表面上,且與被測表面形成一個很小的楔角 ,以單色光源照射時會產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直于被測表面,且平晶與被測表面間的間隙很小,則由平晶測量面P 反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P 發(fā)生干涉而出現(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下,則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直,相互平行,且分布均勻,則表示被測表面的平面度很好;如干涉條紋彎曲,則表示平面度不好。其誤差值為,式中 為兩干涉條紋間距離, 為干涉條紋的彎曲值, 為光波波長,白光波長一般以0.6微米計算。
當(dāng)干涉條紋平直、互相平行,且又均勻分布時,則說明其平面度好;當(dāng)干涉條紋不規(guī)則、且無規(guī)律時,則說明其平面度不好。
平面平晶的干涉條紋平直則表示平面好.如果是彩色光圈一圈則是0.3微米,如看到不是一圈而是多圈則用所看到的圈數(shù)乘以0.3則是它的平面度.如是弧形則表示是0.3以下
根據(jù)干涉條紋計算平面度誤差
1)測量時若出現(xiàn)向一個方向彎曲的干涉條紋,如圖所示,調(diào)整平晶位置,使之出現(xiàn)3~5條干涉帶,則平面度誤差的近似值為:
f= (v/w)×(λ/2)
λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm,v為干涉帶彎曲量,w為干涉帶間距
但是如何**確定v和w的值,我也很迷惑!
2)根據(jù)光圈計算平面度誤差
若被測平面凹或凸,則會出現(xiàn)環(huán)形干涉帶,調(diào)整平晶的位置,使干涉帶數(shù)為少,則平面度誤差的近似值為:
f=(λ/2) ×n
λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm;n為平晶直徑方向上的光圈數(shù)
示意圖如下:
1)測量時若出現(xiàn)向一個方向彎曲的干涉條紋,如圖所示,調(diào)整平晶位置,使之出現(xiàn)3~5條干涉帶,則平面度誤差的近似值為:
f= (v/w)×(λ/2)
λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm,v為干涉帶彎曲量,w為干涉帶間距
但是如何**確定v和w的值,我也很迷惑!
2)根據(jù)光圈計算平面度誤差
若被測平面凹或凸,則會出現(xiàn)環(huán)形干涉帶,調(diào)整平晶的位置,使干涉帶數(shù)為少,則平面度誤差的近似值為:
f=(λ/2) ×n
λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm;n為平晶直徑方向上的光圈數(shù)
示意圖如下: