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測量顯微鏡107JPC
- 產(chǎn)品名稱:測量顯微鏡107JPC
- 產(chǎn)品型號:107JPC測量顯微鏡
- 產(chǎn)品廠商:上海
- 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
測量顯微鏡107JPC采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測量。在107J基礎(chǔ)上加裝光柵測量尺,數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),將測量數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,可進(jìn)行各種復(fù)雜的二維幾何測量。
測量顯微鏡107JPC
的詳細(xì)介紹
測量顯微鏡107JPC
一、用途:
測量顯微鏡107JPC采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測量。廣泛地適用于計(jì)量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門。
在107J基礎(chǔ)上加裝光柵測量尺,數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),將測量數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,可進(jìn)行各種復(fù)雜的二維幾何測量。測量顯微鏡107JPC是光、機(jī)、電一體化的高科技精密測量儀器。
二、技術(shù)規(guī)格
鏡筒
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粗 動
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調(diào)節(jié)范圍 90毫米
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微 動
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調(diào)節(jié)范圍 2毫米
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高(Z)測量
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1毫米小讀數(shù)0.001毫米(干分表讀數(shù))
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鏡 筒
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雙目鏡筒 俯角45°
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工作臺
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左右(X軸)
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移動范圍50毫米
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前后(Y)軸
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移動范圍50毫米
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分 辨 率
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1微米
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旋 轉(zhuǎn)
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360°
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照明系統(tǒng)
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光源
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透射照明
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8V-15W 藍(lán)、綠濾色片
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反射照明
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8V-12W 磨砂燈泡 綠色濾色片
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斜照明
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8V-15W
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電 源
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AC 220V±10% 50/60HZ
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光學(xué)系統(tǒng)
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目 鏡
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BWF 10X
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物 鏡
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4X 工作距離17.5 焦距28.8
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10X 工作距離11.6 焦距15.4
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40X 工作距離0.66 焦距4.4
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107JA測量顯微鏡采用光柵尺和數(shù)據(jù)箱,并配有計(jì)算機(jī)圖象處理系統(tǒng)。還可選配增加視頻圖像系統(tǒng),在計(jì)算機(jī)屏幕上直接瞄準(zhǔn)。
通過計(jì)算機(jī)接口和二維測量程序可使被測工件的輪廓直接構(gòu)圖在計(jì)算機(jī)屏幕上,由AutoCAD進(jìn)行編輯。
二維測量程序包括點(diǎn)、線、園、弧、直線度、園度、螺紋、凸輪等測量功能。
107JA測量顯微鏡放大倍數(shù)高,工作臺除作X,Y坐標(biāo)的移動外,還可以作360°的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向Z坐標(biāo)的測量。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外,還有斜光線照明。