長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)用途

核心摘要：簡(jiǎn)述長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)和用途。長(zhǎng)平晶是以等傾乾涉法檢定研磨麵平尺平麵度的標(biāo)準(zhǔn)量具。長(zhǎng)平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。製造長(zhǎng)平品

簡(jiǎn)述長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)和用途。長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)用途 長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)用途 長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)用途 長(zhǎng)平晶的結(jié)構(gòu)用途
    長(zhǎng)平晶是以等傾乾涉法檢定研磨麵平尺平麵度的標(biāo)準(zhǔn)量具。長(zhǎng)平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。製造長(zhǎng)平品的材料為K9光學(xué)玻璃。
    長(zhǎng)平晶的非工作麵上有表示受檢點(diǎn)位置的十字刻線，對(duì)於210mm長(zhǎng)平晶有7個(gè)十字刻線，刻線間隔為30mm，兩端十字刻線距端麵為15mm;對(duì)於310mm長(zhǎng)平晶兩端十字刻線距端麵為20mm，刻線間隔為30mm，共有9個(gè)間隔，另外在對(duì)稱中點(diǎn)位置上增加一個(gè)十字刻線，共有11個(gè)十字刻線。

長(zhǎng)平晶的外形圖如圖7-30所示。外形尺寸見表7-10。
 

    使用長(zhǎng)平晶時(shí)，考慮到其自重變形對(duì)測(cè)量的影響，且便於修正，應(yīng)使長(zhǎng)平晶支承在固定的位置上，並使工作麵向下。一般常在工作麵兩端研合兩塊尺寸差小於0.1μm的0級(jí)量塊;或用一專用鋼球支承架，如圖7-31所示，其支承鋼球的尺寸差應(yīng)在0.1μm以內(nèi)。長(zhǎng)平晶連同其支承一起放在被測(cè)表麵上，用等傾乾涉法進(jìn)行平麵度測(cè)量。

    長(zhǎng)平晶工作麵平麵度見表7-11。
 

    長(zhǎng)平晶主要用於研磨麵平尺平麵度的檢定。

長(zhǎng)平晶使用時(shí)注意什麼問題?
    長(zhǎng)平晶使用時(shí)應(yīng)注意其支承與放置問題。
    由於長(zhǎng)平晶屬細(xì)長(zhǎng)類形狀的量具，其自重變形的狀態(tài)和大小隨支承形式及支承位置的不同而變化，一般長(zhǎng)平晶不能像平麵平品那樣直接置於被測(cè)表麵上檢測(cè)。檢測(cè)時(shí)必須在規(guī)定位置上放上支承塊，一般可在工作麵兩端研合兩塊尺寸差小於0.1μm的量塊，或用專用鋼球支承架。將長(zhǎng)平晶工作麵向下安放在被檢表麵上，用等傾乾涉法檢測(cè)。
    由於長(zhǎng)平晶自重的影響，因此長(zhǎng)平晶工作時(shí)其工作麵的平麵度應(yīng)包括長(zhǎng)平晶本身自重變形量。長(zhǎng)平晶各點(diǎn)的變形修正量按下式計(jì)算:
                      Fi=Δyi-△yo
式中Fi—長(zhǎng)平晶在i點(diǎn)的自重變形修正量，μm;
    △yi—長(zhǎng)平晶在i點(diǎn)的自重變形量，μm;
    △yo—長(zhǎng)平晶在。點(diǎn)的自重變形量，μm。