平麵平晶測量平麵性的原理依據(jù)

  測量時，先使平晶邊緣輕輕地與被測表麵接觸，逐漸使整個表麵接觸，再調(diào)整平晶使與被測表麵之間保持一微小夾角，直到出現(xiàn)清晰的乾涉條紋為止。如乾涉條紋很密而調(diào)整平晶位置又不能使乾涉條紋的間距加寬，則說明被測表麵或平晶上有微塵或其他雜物，應(yīng)清洗。

  光在平晶表麵反射和被測表麵反射回來的光線形成乾涉現(xiàn)象。由於被測表麵平麵度的影響，乾涉光線的光程差不同，因此形成乾涉條紋。通過測量乾涉條紋的彎曲量並計算可得被測樣品的平麵度。
          

  是利用光線的乾涉原理，在波的傳播過程中，介質(zhì)中質(zhì)點(diǎn)的振動雖頻率相同，但步調(diào)不一致，兩個質(zhì)點(diǎn)的振動步調(diào)一致，為同相點(diǎn)；介質(zhì)中各質(zhì)點(diǎn)同時參與兩個振源引起的振動。

  質(zhì)點(diǎn)的振動為這兩個振動的矢量和，距離差為波長的整數(shù)倍時，兩波源在P點(diǎn)引起的振動的步調(diào)一致，為同相振動，疊加結(jié)果是兩數(shù)值之和，即振動加強(qiáng)，是強(qiáng)點(diǎn)；疊加結(jié)果是兩數(shù)值之差，即振動減弱，是弱點(diǎn)；由此看來，強(qiáng)點(diǎn)與弱點(diǎn)隻與位置有關(guān)，不隨時間變化。正因為不隨時間變化，才被觀察到，才能形成乾涉圖樣。